
CYX50系列注油芯体压力传感器选用国际先进的高稳定、高精度硅压力芯片,采用应力优化设计的烧结座,通过贴片、金丝键合、膜片纯平面焊接、高真空注油、压力循环去应力、高温老炼、温度补偿等工艺生产。CYX50系列装配尺寸及密封方式符合国际50卡盘接口标准,有很好的互换性。主要应用于医药、食品等洁净要求较高的行业,进行压力检测。
1 概述
CYX50系列注油芯体压力传感器选用国际先进的高稳定、高精度硅压力芯片,采用应力优化设计的烧结座,通过贴片、金丝键合、膜片纯平面焊接、高真空注油、压力循环去应力、高温老炼、温度补偿等工艺生产。
CYX50系列装配尺寸及密封方式符合国际50卡盘接口标准,有很好的互换性。主要应用于医药、食品等洁净要求较高的行业,进行压力检测。
2 产品特点
3 主要用途
4 技术指标
4.1 电气性能
4.2 结构性能
4.3 环境条件
4.4 基准条件
4.5 标准量程灵敏度输出及可选压力形式
| 
 量程  | 
 满量程 输出(mV)  | 
 典型值  | 
 压力 形式  | 
 
  | 
 量程  | 
 满量程 输出(mV)  | 
 典型值  | 
 压力形式  | 
| 
 0~10kPa  | 
 35~60  | 
 45  | 
 G  | 
 0~600kPa  | 
 90~120  | 
 100  | 
 G/A  | 
|
| 
 0~20kPa  | 
 70~110  | 
 90  | 
 G  | 
 0~1.0MPa  | 
 80~120  | 
 100  | 
 G/A  | 
|
| 
 0~35kPa  | 
 55~80  | 
 70  | 
 G/A  | 
 0~1.6MPa  | 
 125~185  | 
 150  | 
 G/A  | 
|
| 
 0~70kPa  | 
 55~80  | 
 60  | 
 G/A  | 
 0~2.0MPa  | 
 50~70  | 
 60  | 
 G/A  | 
|
| 
 0~100kPa  | 
 60~85  | 
 75  | 
 G/A  | 
 0~3.5MPa  | 
 100~120  | 
 110  | 
 G/S/A  | 
|
| 
 0~200kPa  | 
 65~85  | 
 75  | 
 G/A  | 
 0~7.0MPa  | 
 120~150  | 
 135  | 
 S/A  | 
|
| 
 0~400kPa  | 
 60~80  | 
 70  | 
 G/A  | 
 
  | 
 
  | 
 
  | 
 
  | 
4.6 基本参数
| 
 参 数  | 
 典型值  | 
 最大值  | 
 单 位  | 
| 
 满量程输出  | 
 100  | 
 250  | 
 mV  | 
| 
 零位输出  | 
 ±1  | 
 ±2  | 
 mV  | 
| 
 非 线 性  | 
 0.2  | 
 0.5  | 
 %FS  | 
| 
 迟 滞  | 
 0.05  | 
 0.08  | 
 %FS  | 
| 
 重 复 性  | 
 0.05  | 
 0.08  | 
 %FS  | 
| 
 输入/输出阻抗  | 
 2.6  | 
 5.0  | 
 kΩ  | 
| 
 零点温漂注1  | 
 ±0.4  | 
 ±1.0  | 
 %FS,@25℃  | 
| 
 灵敏度温漂注2  | 
 ±0.4  | 
 ±1.0  | 
 %FS, @25℃  | 
| 
 长期稳定性  | 
 0.2  | 
 0.3  | 
 %FS/年  | 
| 
 激励电流  | 
 1.5(输入电压最大可10V)  | 
 mA  | 
|
| 
 绝缘电阻  | 
 500(100VDC)  | 
 MΩ  | 
|
| 
 补偿温度注3  | 
 0~50;-10℃~70℃  | 
 ℃  | 
|
| 
 工作温度  | 
 -40~+125/150  | 
 ℃  | 
|
| 
 存储温度  | 
 -40~+125  | 
 ℃  | 
|
| 
 响应时间  | 
 ≤1  | 
 ms  | 
|
| 
 外壳和膜片材料  | 
 316L不锈钢  | 
 
  | 
|
| 
 O型密封圈  | 
 硅橡胶  | 
 
  | 
|
| 
 测量介质  | 
 与316L、硅橡胶兼容的流体  | 
 
  | 
|
| 
 寿命(25℃)  | 
 >1×108压力循环(80%FS)  | 
 次  | 
|
| 
 填充介质  | 
 硅油  | 
 
  | 
|
| 
 密封圈  | 
 规格多样,用户自配  | 
 
  | 
|
| 
 注1、注2:0~10kPa零点温漂、灵敏度温漂典型值0.5%FS@25℃,最大值1.2%FS@25℃。 注3、200kPa及以下量程,补偿温度0~50℃;大于200kPa,补偿温度-10℃~70℃。 
  | 
|||
5 选型结构
5.1 芯体选型型号及外形图
| 
 系 列  | 
 量 程  | 
 型 号  | 
 外 形 图  | 
| 
 CYX50  | 
 -100kPa~7MPa  | 
 CYX5001 (-40℃~125℃)  | 
 
  | 
| 
 CYX5002 (-40℃~150℃)  | 
 
  | 
6 原理图及接线方式
   
IN+(红线)-供电正 IN-(黑线)-供电负 S+(黄线)-输出正 S-(蓝线)-输出负
7 应用提示
8 选型指南

*工艺标识:f表示通用工艺,Y表示负压工艺。